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電子廠廢氣處理的廢氣主要成分了解一下
  • 發(fā)布日期:2020-10-01      瀏覽次數(shù):1699
    •   想要知道電子廠廢氣處理如何進(jìn)行就要先知道電子廠廢氣主要成分是什么,下面讓我們來了解一下吧。
       
        電子工業(yè)有機(jī)廢氣VOCs的排放,對(duì)大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大,對(duì)該類污染物進(jìn)行有效控制和治理問題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分,自上而下分為電子整機(jī)產(chǎn)品、電子基礎(chǔ)產(chǎn)品和電子材料三個(gè)層次。其中涵蓋:電子材料、半導(dǎo)體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
       
        電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種,組分復(fù)雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來源于對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯等。
       
        一般來說,廢氣排放中風(fēng)量較大,VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn),電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有氣體。
       
        揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復(fù)雜,常見有機(jī)廢氣治理方法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單獨(dú)運(yùn)用或無法達(dá)成經(jīng)濟(jì)高效運(yùn)行,或不能滿足嚴(yán)苛的排放標(biāo)準(zhǔn)。
       
        電子廠廢氣處理方法
       
        (1)預(yù)處理階段:一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
       
        (2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。
       
        這幾種方式各有優(yōu)劣,根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況,在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。

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